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超純水的用途很廣泛。在微電子,光學,半導體行業用得很多。隨著水處理技術發展和革新,制取超純水的工藝也不是單一的,那么制取超純水有哪些工藝呢?我們從末端的精處理,到前段的預處理,一一為大家介紹。
1,超純水制取的末端工藝(超純水系統的末端)
在這個部分的超純水制取工藝較為統一,都會采用拋光混床(離子交換的一種),其核心濾料是拋光樹脂。它可以將水質提升至18MΩ·cm
2,超純水制取的核心工藝
有混床,和EDI,兩種工藝。混床(離子交換的一種)的歷史相比較EDI而言,時間久。在使用過程中,水質會隨著使用周期的推進而水質出現下降,一單不符合標定的水質要求后必須用酸堿進行再生。而EDI則是連續電去離子。一方面利用了樹脂的離子交換特性,同時又對水進行電解產生離子對樹脂進行再生。省去了酸堿再生這個過程。兩種工藝的選擇,還需要參考當地水質,應用行業,初期投入成本,環保法規等等因素來決定。
不論是采用混床還是EDI,他們的進水一般會采用反滲透的產水。
3,超純水制取的前端工藝
混床對于進水的要求和范圍相比較EDI而言,要寬泛一些,因此大多數情況下,混床的進水可以采用一級反滲透的產水;而EDI的進水,在絕大多數時候都會采用二級反滲透的產水。不同的是在預處理的部分,會有較大的差異。通常,會針對原水的情況進行多介質過濾——活性炭過濾——精濾;也有采用盤濾——超濾的處理工藝。同樣的,選擇合適的工藝,需要考慮到多方面的因素。
由此可見,超純水的制取,并非人們所理解的千篇一律:二級反滲透——EDI——拋光混床。每個部分工藝的選擇,都需要考慮方方面面。另外,隨著科技的發展,在一些產品的制程中,超純水達到18MΩ·cm,才只是基礎的門檻。顆粒物,TOC,微生物,等等,都對超純水系統的各個環節有了高的要求。